概述SMC2通氣控閥,SMC安裝要求
特長 溫度穩定性高、溫度調節范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導體工藝設備。
適用各種安全標準。
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 循環液
HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液
特長 在HRZ系列高的基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了省能化。
兼備廣泛的溫度調節范圍和冷卻能力范圍。
適用于更新周期短的半導體器件，可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。

概述SMC2通氣控閥,SMC安裝要求

功能簡介:

氣控閥介質流動方向應與閥體箭頭方向一致，可以外接導壓管裝置出廠前均通過壓力試驗，安裝時嚴禁損傷導壓裝置;閥上的1/2管接頭應安裝在水泵入口處;可水平安裝也可以垂直安裝;限流止回閥的需求揚程大于0.1MPa時，先逆時針把四通開大，然后再順時針逐漸關閉調壓閥，關閉過程中出口壓力會逐漸增大，直至出口壓力為需要揚程時，即完成初調節，反復啟閉水泵2-3次，每次運行3-5分鐘，出口壓力不變即完成調試工作;視水質情況應經常檢查出口壓力值，當出口壓力小于設定值時，應開啟過濾器排除污物。

按動作方式分類，可分為直動式和先導式。直接依靠電磁力、氣壓力、人力和機械力使閥芯換向的閥，稱為直動式換向閥。直動式閥的通徑較小。先導式氣閥由先導閥和主閥組成，依靠先導閥輸出的氣壓力，通過控制活塞等推動主閥芯換向的那部分稱為主閥。通徑大的換向閥大都為先導式換向閥。先導閥又分成內部先導式和外部先導式。先導控制的氣源是主閥提供的為內部先導式；先導控制的氣源是外部供給的為外部先導式。外部先導式換向閥切換不受換向閥使用壓力大小的影響，故換向閥可在低壓或真空壓力條件下工作。

專門用于氣動系統和氣液回路控制

●正反向流動都可能的平衡座閥式

●氣控式、外部先導式電磁閥

產品型號:

SMC CDQ2A40-100DMZ-M9BL

SMC JC40-14-150

ITV3050-04F3CL 

CM2B32-300Z 

CDJ2E16-200Z-B 

MBL50-600Z

C96SDB125-75W

C96SDB125-85W

MBB80-100Z 

CDQ2D12-10DMZ

MKB25-20RZ

MKB25-20LZ

SMC MHY2-20D

SMC CDM2B40-450AZ

SMC SY7340-5LOZ

AW30-N02-2-B-X430 過濾減壓閥

AS2052F-08  調速閥

VBA42A-04GN

V114T-5GZ